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Beleuchtungssysteme und Vorschaltgeräte in der Halbleiterfertigung

In der Halbleiterfertigung spielen Beleuchtung und Stromversorgung eine zentrale Rolle für die Qualität und Effizienz des Produktionsprozesses. 

Anwendung in der Halbleiterfertigung

Sie fertigen unter hochpräzisen Bedingungen Halbleiter für modernste Elektrotechnik und benötigen für die Charakterisierung der Wafer oder der Masken eine leistungsstarke UV-Lichtquelle bei 248 oder 365 nm oder eine zuverlässige Stromversorgung für Ihre Gasentladungslampe, Ihr Analysesystem beziehungsweise Ihre Bildverarbeitungslösung?

In unserem Portfolio finden Sie neben einem klassischen HgXe-Mischgas-„Deep-UV System“ für 248 nm auch Vorschaltgeräte für Hg-, Xe- und HgXe-Gasentladungslampen von 50 Watt aufwärts.  Neben den klassischen Lichtquellen und Vorschaltgeräten für Kurzbogenlampen bieten wir Ihnen ebenfalls unterschiedliche LED-Lichtquellen im UV-Vis-Bereich an. Die Einkopplung in Ihr System erfolgt dabei entweder direkt über Kollimationsoptiken oder über Lichtleiter.

Unsere kompakten Vorschaltgeräte sorgen für hochstabile und zuverlässige Stromversorgung Ihrer Anwendung in der Halbleiterfertigung. Sie bieten eine optimale Versorgung der Lichtquelle und erzielen einen sehr konstanten flimmerfreien Lichtstrom.

Produkte in der Halbleiterfertigung

Frontansicht luxyr LED PICO

LED PICO

LED-Lichtquelle mit bis zu 800 lm für verschiedenste Mikroskopie- und Beleuchtungsanwendungen.

Frontansicht luxyr LED MAGNA (2-Kanal)

LED MAGNA

Breitband-Hochleistungs-LED-Lichtquelle als Äquivalent zu Halogen- und Kurzbogen-Kaltlichtquellen.

Deep UV Beleuchtungssystem

Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät.

LH LED 100

LH LED 100

1-Kanal Vis LED-Lichtquelle für die Mikroskopie, als Kaltlichtquelle oder Aufrüstung für Halogen

HXP 120 Produktbild

HXP 120

120 W Quecksilber-AC-Kurzbogen-Reflektorlampe für Fluoreszenz-Anwendungen in der Mikroskopie

EB Serie 04 Produktbild

EB Serie 04

Elektronisches Vorschaltgerät für Hg-, Xe- und Mischgas-Entladungslampen bis 100 W

EBU Serie Produktbild

EBU-Serie

Universelle elektronisches Vorschaltgeräte für verschiedenste Kurzbogen-Gasentladungslampen bis 1350 W.

LED NANO

Breitband-Hochleistungs-LED-Lichtquelle als Äquivalent zu Halogen- und Kurzbogen-Kaltlichtquellen

Passendes Zubehör

Benötigen Sie Zubehör? Selbstverständlich bieten wir Ihnen für unsere Produkte eine Vielzahl an Zubehörteilen. Ob Lichtleiter, Ersatzlampe, Mikroskop-Adapter oder andere.

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Beleuchtung in der Halbleiterfertigung

Die Fertigung von Halbleitern erfordert eine äußerst kontrollierte Umgebung, in der jede noch so kleine Störung zu Fehlern führen kann. Beleuchtung ist dabei ein entscheidender Faktor, insbesondere bei der Inspektion von Wafern und der präzisen Ausrichtung von Maschinen. Eine hochentwickelte Beleuchtung sorgt dafür, dass jeder Schritt im Fertigungsprozess unter optimalen Sicht­bedingungen durchgeführt werden kann.
Ultraviolette (UV)-Beleuchtung
Bei der Belichtung von Fotomasken, einem der wichtigsten Schritte in der Lithografie, ist UV-Beleuchtung unerlässlich. Sie ermöglicht es, feine Strukturen auf die Waferoberflächen zu übertragen, die für die Schaltkreise benötigt werden.
Sauberkeit und
Präzision
Um Staubpartikel und andere Verunreinigungen zu vermeiden, die den Fertigungsprozess beeinträchtigen könnten, ist es entscheidend, dass die Beleuchtung in Reinräumen gleichmäßig und effizient ist. LED-beleuchtete Systeme, die speziell für Reinräume entwickelt wurden, sind weit verbreitet, da sie eine lange Lebensdauer und eine geringe Wärmeabgabe bieten.
Helligkeit und Farbtemperatur
Eine gleichmäßige und anpassbare Helligkeit sowie eine präzise Farbtemperatur sind wichtig, um die visuelle Inspektion und Qualitätskontrollen auf Wafer und Lithografieprozesse zu optimieren.

Stromversorgung in der Halbleiterfertigung

Ein stabiler und zuverlässiger Stromversorgungsfluss ist in der Halbleiterfertigung unerlässlich, da selbst geringste Schwankungen in der Stromqualität die Produktqualität und -konsistenz beeinträchtigen können. Alle Maschinen und Anlagen, die in der Halbleiter­produktion eingesetzt werden, von der Reinigung und Lithografie bis hin zur Doping- und Ätztechnik, benötigen eine konstante Stromversorgung.
Präzise Spannungsregelung
In der Halbleiterproduktion ist eine gleich­mäßige Stromversorgung von höchster Wichtigkeit, um die empfindlichen elektronischen Bauteile nicht zu beschädigen. Eine präzise Spannungsregelung sorgt dafür, dass die Maschinen stabil arbeiten und hohe Produktionsstandards eingehalten werden können.
Redundanzsysteme
Stromausfälle oder Schwankungen können zu Produktionsstillständen und Verlusten führen. Daher sind redundante Stromver­sorgungsanlagen notwendig, um die Kontinuität der Fertigung sicherzustellen. Dies umfasst unterbrechungsfreie Strom­versorgungen (USV) sowie Notstrom­aggregate, die im Falle eines Ausfalls schnell einspringen.
Energieeffizienz
In der Halbleiterfertigung wird nicht nur auf die Qualität der Stromversorgung geachtet, sondern auch auf die Energieeffizienz der gesamten Produktionslinie. Optimierte Stromversorgungsysteme können den Energieverbrauch senken und somit die Betriebskosten der Fertigungsanlagen reduzieren, was angesichts des hohen Energiebedarfs in der Branche von großer Bedeutung ist.

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