PRODUKTDATENBLATT
Bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät für eine stabile UV-Beleuchtung ohne thermischen Drift
DEEP-UV-SYSTEM
Hg-Xe-Beleuchtungssystem für UV-Anwendungen bis 100 W
DEEP-UV-SYSTEM
Hg-Xe-Beleuchtungssystem für UV-Anwendungen bis 100 W
| PDF Datenblatt |
Mit dem Deep-UV-Beleuchtungssystem erhalten Sie eine extrem stabile UV-Beleuchtung – dank
einer hochstabilen DC-Stromversorgung und keinem thermischen Drift.
Die präzise, reproduzierbare Justage von Lampe, Spiegel und Kollektor ermöglicht eine optimale Ausrichtung. Ideal für Waferinspektionen, optische Reviews und die Analyse von Photomasken, insbesondere zur Prüfung feinster Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Defekte.
Produkt-Highlights
- Kein thermischer Drift
- Reproduzierbare mechanische Justage
- Zündung im Lampenhaus integriert
- Kompaktes Lampenhaus
- Sicherheitskreisfunktion
Anwendungsbereiche
- Beleuchtung für den optischen Review und die Analyse der Photomasken, speziell der Strukturen und Linienbreiten auf Fehler bzw. Defekte
- Waferinspektion
- Desinfektion
Technische Daten
| Ausgangsparameter | ||
|---|---|---|
| Beschreibung | Ausgangsleistung siehe Diagramm Seite 1, dimmbar, gamma-korrigierte Helligkeitssteuerung | |
| Steady-Mode | ||
|---|---|---|
| Beschreibung | Kontinuierlicher Betrieb mit einstellbarem Lichtstrom, separate Sollwerte für beide Kanäle | |
| Anstiegszeitt10-90 | < 2 μs | |
| Abfallzeitt10-90 | < 2 μs | |
| Signallaufzeit | < 1 μs | |
| Pulse-Mode | ||
|---|---|---|
| Beschreibung | Flankengesteuerte Pulse (Delay, Pulslänge und Lichtstrom vorkonfigurierbar), Kanäle sind nur simultan pulsbar | |
| Anstiegszeitt10-90 | < 2 μs | |
| Abfallzeitt10-90 | < 2 μs | |
| Schnittstellen | ||
|---|---|---|
| Control | Mini-DIN für Steuerung über Bedienpult | |
| Config | Mikro-USB für Konfiguration, Bedienung & Statusmeldungen | |
| TTL | SMB-Buchse für Follow-Mode und Pulse-Mode | |
| DCin | 4-polige Power-DIN | |
| Optischer Ausgang | Kollimationsoptik mit Mikroskopadapter (für Zeiss, Leica, Nikon, Olympus, kundenspezifisch) | |
| Spezifikation | |
|---|---|
| Netzspannung für Netzteil | 100 bis 240 VAC ± 10 %, 50 bis 60 Hz, Maximalleistung 85 W |
| Abmessungen Lichtquelle | ca. 160 mm x 105 mm x 150 mm (L/H/B) |
| Gewicht | ca. 2 kg |
