PRODUKTDATENBLATT
Deep UV Beleuchtungssystem
Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät.
Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät.
| PDF Datenblatt |
Mit dem LEJ Deep-UV-Beleuchtungssystem erhalten Sie eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund des geringen thermischen Drifts und der sehr stabilen DC-Stromversorgung durch unser Vorschaltgerät.
Weiterhin ermöglicht unser System eine reproduzierbare mechanische Justage von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit eignet sich das LEJ Deep-UV-System zur Waferinspektion oder für die Beleuchtung beim optischen Review und der Analyse von Photomasken, speziell der Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Defekte.
Produkt-Highlights
- kein thermischer Drift
- reproduzierbare mechanische Justage
- Integrierte Hochspannungszündung
- kompaktes robustes Lampenhaus
- Sicherheitskreisfunktion
- Betriebsstundenzähler
Anwendungsbereiche
- UV-Mikroskopie
- Analyse von Photomasken
- Waferinspektion
- Desinfektion
- UV-Härtung
Technische Daten
| Ausgangsparameter | ||
|---|---|---|
| Beschreibung | Ausgangsleistung siehe Diagramm Seite 1, dimmbar, gamma-korrigierte Helligkeitssteuerung | |
| Steady-Mode | ||
|---|---|---|
| Beschreibung | Kontinuierlicher Betrieb mit einstellbarem Lichtstrom, separate Sollwerte für beide Kanäle | |
| Anstiegszeitt10-90 | < 2 μs | |
| Abfallzeitt10-90 | < 2 μs | |
| Signallaufzeit | < 1 μs | |
| Pulse-Mode | ||
|---|---|---|
| Beschreibung | Flankengesteuerte Pulse (Delay, Pulslänge und Lichtstrom vorkonfigurierbar), Kanäle sind nur simultan pulsbar | |
| Anstiegszeitt10-90 | < 2 μs | |
| Abfallzeitt10-90 | < 2 μs | |
| Schnittstellen | ||
|---|---|---|
| Control | Mini-DIN für Steuerung über Bedienpult | |
| Config | Mikro-USB für Konfiguration, Bedienung & Statusmeldungen | |
| TTL | SMB-Buchse für Follow-Mode und Pulse-Mode | |
| DCin | 4-polige Power-DIN | |
| Optischer Ausgang | Kollimationsoptik mit Mikroskopadapter (für Zeiss, Leica, Nikon, Olympus, kundenspezifisch) | |
| Spezifikation | |
|---|---|
| Netzspannung für Netzteil | 100 bis 240 VAC ± 10 %, 50 bis 60 Hz, Maximalleistung 85 W |
| Abmessungen Lichtquelle | ca. 160 mm x 105 mm x 150 mm (L/H/B) |
| Gewicht | ca. 2 kg |
