PRODUKTDATENBLATT

Deep UV Beleuchtungssystem

Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät.

Hg-Xe Mischgas Gasentladungsbeleuchtung bestehend aus Lampenhaus mit integrierter Zündung und Vorschaltgerät.

PDF Datenblatt

Mit dem LEJ Deep-UV-Beleuchtungssystem erhalten Sie eine extrem stabile UV-Strahlung aufgrund des geringen thermischen Drifts und der sehr stabilen DC-Stromversorgung durch unser Vorschaltgerät.

Weiterhin ermöglicht unser System eine reproduzierbare mechanische Justage von Lampe, Spiegel und Kollektor. Somit eignet sich das LEJ Deep-UV-System zur Waferinspektion oder für die Beleuchtung beim optischen Review und der Analyse von Photomasken, speziell der Strukturen und Linienbreiten auf Fehler und Defekte.

Spektrum Deep-UV-System des Lampenhauses „lh-qx 100.60“ ohne Kollektoroptik

Produkt-Highlights

  • kein thermischer Drift
  • reproduzierbare mechanische Justage
  • Integrierte Hochspannungszündung
  • kompaktes robustes Lampenhaus
  • Sicherheitskreisfunktion
  • Betriebsstundenzähler

Anwendungsbereiche

  • UV-Mikroskopie
  • Analyse von Photomasken
  • Waferinspektion
  • Desinfektion
  • UV-Härtung

Technische Daten

Ausgangsparameter
BeschreibungAusgangsleistung siehe Diagramm Seite 1, dimmbar, gamma-korrigierte Helligkeitssteuerung
Steady-Mode
BeschreibungKontinuierlicher Betrieb mit einstellbarem Lichtstrom, separate Sollwerte für beide Kanäle
Anstiegszeitt10-90< 2 μs
Abfallzeitt10-90< 2 μs
Signallaufzeit< 1 μs
Pulse-Mode
BeschreibungFlankengesteuerte Pulse (Delay, Pulslänge und Lichtstrom vorkonfigurierbar), Kanäle sind nur simultan pulsbar
Anstiegszeitt10-90< 2 μs
Abfallzeitt10-90< 2 μs
Schnittstellen
ControlMini-DIN für Steuerung über Bedienpult
ConfigMikro-USB für Konfiguration, Bedienung & Statusmeldungen
TTLSMB-Buchse für Follow-Mode und Pulse-Mode
DCin4-polige Power-DIN
Optischer AusgangKollimationsoptik mit Mikroskopadapter
(für Zeiss, Leica, Nikon, Olympus, kundenspezifisch)
Spezifikation
Netzspannung für Netzteil100 bis 240 VAC ± 10 %, 50 bis 60 Hz, Maximalleistung 85 W
Abmessungen Lichtquelleca. 160 mm x 105 mm x 150 mm (L/H/B)
Gewichtca. 2 kg

Ansicht von oben luxyr LED MAGNA | Abmessungen in mm
Ansicht von oben luxyr LED MAGNA | Abmessungen in mm

Ansicht von vorn luxyr LED MAGNA | Abmessungen in mm
Ansicht von vorn luxyr LED MAGNA | Abmessungen in mm

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