用于半导体检测的紫外线（UV）和深紫外线（DUV）光源
用于半导体检测和先进成像的紫外线（UV）及深紫外线（DUV）照明
稳定的照明，确保检测和审查流程的可重复性。
在半导体制造的检测、审查和计量系统中，波长、光学稳定性、耦合和电源直接影响检测质量。 LEJ 致力于开发用于晶圆检测、光掩模检测、光学审查及特殊表面分析的紫外线（UV）和深紫外线（Deep-UV）光源、电子镇流器以及可集成式 OEM 子系统。
我们的业务重点在于高要求的照明和供电解决方案——而非光刻曝光光源。我们为设备制造商提供全方位支持，涵盖从技术方案设计、功能样机开发、验证到批量供货的整个过程。
讨论紫外线（UV）/深紫外线（DUV）检测应用
请告知我们波长、光学功率、耦合方式、稳定性要求、安装空间及目标数量。LEJ将评估合适的系统方案。
典型应用
- 晶圆检测与光学审查
- 光掩模检测与缺陷检测
- 基于紫外线的表面和涂层检测
- 半导体领域的荧光与对比度技术
- 专用计量与分析系统
- 与工艺相关的成像与质量控制
- 现有灯具或镇流器系统的重新设计与更换
哪些要求至关重要？
- 规定的紫外线（UV）或深紫外线（DUV）波长，例如 365 纳米或 248 纳米
- 稳定的光学性能和低波纹度
- 通过准直、自由光束或光纤实现可重复的耦合
- 可控的热管理与稳定的运行条件
- 基于灯具的系统的可靠点火与控制
- 符合电磁兼容性（EMC）要求的集成与保护功能
- 可测量和可检测的系列参数
- 长期供货、产品生命周期及停产管理
248 nm波长的深紫外系统
对于短波检测和审查应用，可采用基于合适汞氖混合气体灯的248纳米系统。LEJ将光源、灯体、光学系统、点火装置和电子镇流器视为一个整体系统。 系统设计需根据所需的光学功率、稳定性、工作距离、耦合效率及运行时间进行确定。
该248纳米解决方案适用于照明、检测和分析应用。它并非作为KrF光刻曝光光源的替代品而设计。
UV-A 和 UV/VIS LED 解决方案
当紧凑的结构、长寿命、快速开关、触发功能以及良好的可调性成为首要考虑因素时，基于LED的光源便极具吸引力。LED PICO或定制LED模块可作为UV-A至可见光（VIS）应用的起点。
用于汞灯、氙灯和汞氙灯的电子镇流器
对于气体放电灯而言，镇流器会影响点火、工作点、光通量稳定性及使用寿命。LEJ 研发并生产电子镇流器，这些产品均根据灯管类型、功率等级以及光学系统的要求进行定制。
- 可靠的点火和稳定的运行
- 稳定且闪烁较少的供电
- 保护、监控和诊断功能
- 设备控制与维护接口
- 符合批量生产要求的集成、文档编制和测试方案
光学集成：准直、自由光束或光纤
最佳耦合效果取决于几何形状、均匀性、光束轮廓、工作距离和安装空间。LEJ 可协助客户选择和集成准直光学元件、光导、适配器及机械接口。目标是实现向客户系统进行可重复的光学传输。
从需求到批量交付
- 职位要求：
- 波长、功率、稳定性、工艺、环境、安装空间和数量。
- 系统设计理念：
- 光源、光学系统、耦合、电子元件、散热和接口。
- 功能模式：
- 系统搭建、测量、持续运行以及与客户系统的集成。
- 验证：
- 频谱、性能、稳定性、温度、电磁兼容性及保护功能。
- 工业化：
- 文档、检测设备、采购、批量装配及全生命周期支持。
技术文件和证明材料
对于批量生产项目，“能发光”这一证明是不够的。根据具体项目不同，可能需要提供光谱、光学功率、稳定性、工作参数、温度特性、测试报告以及接口文档。LEJ会与OEM协商，制定针对具体项目的文档编制和测试方案。
产品与入门指南
- 用于检测和审查应用的248 nm深紫外（Deep-UV）系统
- LED PICO 及定制型 UV-A/VIS LED 模块
- 用于汞灯、氙灯和汞氙灯的电子镇流器
- 光导管、适配器及光学/机械集成
- 定制化OEM光源及电源电子设备
- 现有系统的重新设计与淘汰方案
为什么选择LEJ？
- 光源与电力电子设备一站式供应
- 在紫外线（UV）、深紫外线（DUV）及基于灯管的系统方面的经验
- 在耶拿进行的研发、原型制作和批量生产
- 适用于要求较高的中小型OEM批量生产
- 符合ISO 9001标准的质量管理体系
- 生命周期、重新设计和淘汰支持
启动半导体OEM项目
我们将与您共同为您的检测或审查平台开发一套紫外线（UV）/深紫外线（DUV）光源及供电解决方案。
常见问题解答
在半导体检测领域，什么是深紫外（Deep UV）？
“深紫外线”（Deep UV）指短波长紫外线波段。例如，对于某些检测和审查任务而言，248 纳米波长可能具有重要意义，因为短波长能够产生特殊的对比度或分辨率效果。
248纳米光源用于什么用途？
适用于晶圆或光罩检测、光学审查、表面分析或特殊计量应用等系统。具体适用性取决于光学系统、传感器和测量原理。
紫外线检测应选用LED还是汞氙灯？
LED 具有体积小、使用寿命长和开关速度快的特点。在特定光谱或对光学性能要求较高时，HgXe 灯可能是合适的选择。具体选择应根据系统要求而定。
电子镇流器的作用是什么？
它负责气放电灯的点火和稳态运行，并影响照明系统的稳定性、波纹度、保护功能和使用寿命。
光导还是直接准直？
光导管有助于实现灵活的空间集成；直接准直可在效率或光束引导方面带来优势。具体选择取决于安装空间、几何形状和光学目标参数。
LEJ 是否支持重新设计和淘汰？
是的。LEJ能够为已停产的镇流器、灯具、电子元件或机械接口开发替代方案，并将其推进至符合资质的量产阶段。
