UV- und DUV-Lichtquellen für Halbleiterinspektion
UV- und DUV-Beleuchtung für Halbleiterinspektion und Advanced Imaging
Stabile Beleuchtung für reproduzierbare Inspektions- und Reviewprozesse.
In Inspektions-, Review- und metrologischen Systemen für die Halbleiterfertigung beeinflussen Wellenlänge, optische Stabilität, Einkopplung und Stromversorgung unmittelbar die Detektionsqualität. LEJ entwickelt UV- und Deep-UV-Lichtquellen, elektronische Vorschaltgeräte und integrierbare OEM-Subsysteme für Waferinspektion, Photomaskenprüfung, optische Reviews und spezielle Oberflächenanalysen.
Unser Schwerpunkt liegt auf anspruchsvollen Beleuchtungs- und Versorgungslösungen – nicht auf Lithografie-Belichtungsquellen. Wir unterstützen Gerätehersteller vom technischen Konzept über Funktionsmuster und Validierung bis zur Serienversorgung.
UV-/DUV-Inspektionsanwendung besprechen
Nennen Sie uns Wellenlänge, optische Leistung, Einkopplung, Stabilitätsanforderung, Bauraum und Zielstückzahl. LEJ bewertet den geeigneten Systemansatz.
Typische Anwendungen
- Waferinspektion und optisches Review
- Photomaskenprüfung und Defektdetektion
- UV-basierte Oberflächen- und Beschichtungsprüfung
- Fluoreszenz- und Kontrastverfahren im Halbleiterumfeld
- spezielle metrologische und analytische Systeme
- prozessnahe Bildgebung und Qualitätskontrolle
- Redesign und Ersatz bestehender Lampen- oder Vorschaltgerätesysteme
Welche Anforderungen sind entscheidend?
- definierte UV- oder DUV-Wellenlänge, z. B. 365 nm oder 248 nm
- stabile optische Leistung und geringe Welligkeit
- reproduzierbare Einkopplung über Kollimation, Freistrahl oder Lichtleiter
- kontrolliertes Thermomanagement und stabile Betriebsbedingungen
- zuverlässige Zündung und Regelung lampenbasierter Systeme
- EMV-gerechte Integration und Schutzfunktionen
- mess- und prüfbare Serienparameter
- langfristige Verfügbarkeit, Lifecycle- und Obsoleszenzmanagement
Deep-UV-Systeme bei 248 nm
Für kurzwellige Inspektions- und Reviewanwendungen können 248-nm-Systeme auf Basis geeigneter HgXe-Mischgas-Lampen eingesetzt werden. LEJ betrachtet Lichtquelle, Lampenhaus, Optik, Zündung und elektronisches Vorschaltgerät als Gesamtsystem. Die Auslegung richtet sich nach benötigter optischer Leistung, Stabilität, Arbeitsabstand, Einkopplung und Betriebsdauer.
Die 248-nm-Lösung ist für Beleuchtungs-, Inspektions- und Analyseanwendungen vorgesehen. Sie ist nicht als Ersatz für eine KrF-Lithografie-Belichtungsquelle positioniert.
UV-A- und UV/VIS-LED-Lösungen
LED-basierte Lichtquellen sind attraktiv, wenn kompakte Bauform, lange Lebensdauer, schnelle Schaltbarkeit, Triggerung und gute Regelbarkeit im Vordergrund stehen. LED PICO oder kundenspezifische LED-Module können als Ausgangspunkt für UV-A- bis VIS-Anwendungen dienen.
Elektronische Vorschaltgeräte für Hg-, Xe- und HgXe-Lampen
Bei Gasentladungslampen beeinflusst das Vorschaltgerät Zündung, Betriebspunkt, Lichtstromstabilität und Lebensdauer. LEJ entwickelt und fertigt elektronische Vorschaltgeräte, die auf Lampentyp, Leistungsklasse und die Anforderungen des optischen Systems abgestimmt werden.
- zuverlässige Zündung und geregelter Betrieb
- konstante und flimmerarme Versorgung
- Schutz-, Überwachungs- und Diagnosefunktionen
- Schnittstellen für Gerätesteuerung und Service
- seriengerechte Integration, Dokumentation und Prüfkonzept
Optische Integration: Kollimation, Freistrahl oder Lichtleiter
Die optimale Einkopplung hängt von Geometrie, Homogenität, Strahlprofil, Arbeitsabstand und Bauraum ab. LEJ unterstützt bei der Auswahl und Integration von Kollimationsoptiken, Lichtleitern, Adaptern und mechanischen Schnittstellen. Ziel ist eine reproduzierbare optische Übergabe an das Kundensystem.
Von der Anforderung bis zur Serienlieferung
- Anforderungsprofil:
- Wellenlänge, Leistung, Stabilität, Prozess, Umgebung, Bauraum und Stückzahl.
- Systemkonzept:
- Lichtquelle, Optik, Einkopplung, Elektronik, Kühlung und Schnittstellen.
- Funktionsmuster:
- Aufbau, Messung, Dauerlauf und Integration in das Kundensystem.
- Verifikation:
- Spektrum, Leistung, Stabilität, Temperatur, EMV und Schutzfunktionen.
- Industrialisierung:
- Dokumentation, Prüfmittel, Beschaffung, Serienmontage und Lifecycle-Betreuung.
Technische Dokumentation und Nachweise
Für Serienprojekte reicht der Nachweis „es leuchtet“ nicht aus. Je nach Projekt können Spektren, optische Leistung, Stabilität, Betriebsparameter, Temperaturverhalten, Prüfprotokolle und Schnittstellendokumentation erforderlich sein. LEJ erstellt projektbezogene Dokumentations- und Prüfkonzepte in Abstimmung mit dem OEM.
Produkte und Einstiegspunkte
- Deep-UV-Systeme bei 248 nm für Inspektions- und Reviewanwendungen
- LED PICO und kundenspezifische UV-A-/VIS-LED-Module
- elektronische Vorschaltgeräte für Hg-, Xe- und HgXe-Lampen
- Lichtleiter, Adapter und optische/mechanische Integration
- kundenspezifische OEM-Lichtquellen und Versorgungselektronik
- Redesign und Obsoleszenzlösungen für bestehende Systeme
Warum LEJ?
- Lichtquelle und Leistungselektronik aus einer Hand
- Erfahrung mit UV-, DUV- und lampenbasierten Systemen
- Entwicklung, Prototyping und Serienfertigung in Jena
- geeignet für anspruchsvolle kleine und mittlere OEM-Serien
- Qualitätsmanagement nach ISO 9001
- Lifecycle-, Redesign- und Obsoleszenzunterstützung
Halbleiter-OEM-Projekt starten
Gemeinsam entwickeln wir eine UV-/DUV-Licht- und Versorgungslösung für Ihre Inspektions- oder Reviewplattform.
FAQ
Was ist Deep UV im Kontext der Halbleiterinspektion?
Deep UV bezeichnet kurzwellige UV-Bereiche. Für bestimmte Inspektions- und Reviewaufgaben kann beispielsweise 248 nm relevant sein, weil kurze Wellenlängen besondere Kontrast- oder Auflösungseffekte ermöglichen.
Wofür wird eine 248-nm-Lichtquelle eingesetzt?
Je nach System für Wafer- oder Maskeninspektion, optisches Review, Oberflächenanalyse oder spezielle metrologische Anwendungen. Die konkrete Eignung hängt von Optik, Sensorik und Messprinzip ab.
LED oder HgXe-Lampe für UV-Inspektion?
LEDs bieten Kompaktheit, Lebensdauer und schnelle Schaltbarkeit. HgXe-Lampen können bei bestimmten Spektren oder hohen optischen Leistungsanforderungen sinnvoll sein. Die Auswahl erfolgt anhand der Systemanforderung.
Welche Aufgabe hat das elektronische Vorschaltgerät?
Es übernimmt Zündung und geregelten Betrieb der Gasentladungslampe und beeinflusst Stabilität, Welligkeit, Schutzfunktionen und Lebensdauer des Beleuchtungssystems.
Lichtleiter oder direkte Kollimation?
Lichtleiter erleichtern flexible räumliche Integration; direkte Kollimation kann Vorteile bei Wirkungsgrad oder Strahlführung bieten. Die Entscheidung hängt von Bauraum, Geometrie und optischer Zielgröße ab.
Unterstützt LEJ Redesign und Obsoleszenz?
Ja. LEJ kann Ersatzkonzepte für abgekündigte Vorschaltgeräte, Lampen, Elektronikkomponenten oder mechanische Schnittstellen entwickeln und in einen qualifizierten Serienstand überführen.
